Khí CO và HC là các khí độc và khí có khảnăng gây cháy
nổcó mặt thường xuyên trong môi trường không khí. Vì vậy, việc
phân tích định tính hay định lượng các loại khí này trong môi trường
không khí là cần thiết và quan trọng. Luận án này tập trung nghiên
cứu, chếtạo hai loại cảm biến khí đó là: cảm biến độdẫn cho khí CO
và cảm biến nhiệt xúc tác cho khí HC. Hai loại cảm biến này đều trên
cơsởvật liệu oxit kim loại và có ưu điểm về: nguyên lý đơn giản, dải
đo rộng, độbền và ổn định cao, thiết kế đơn giản, giá thành rẻ, có
khảnăng chếtạo hàng loạt, thời gian thực hiện phép đo nhanh, có thể
thực hiện đo trực tiếp và trực tuyến trong môi trường cần phân tích
khí và dễ ứng dụng cho thiết kếthiết bị đo. Vật liệu Perovskite
LnMO3(với Ln= La, Nd, Sm, Gd, v.v.; M là kim loại chuyển tiếp
nhưV, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, v.v.) được quan tâm nhiều cho cảm biến
khí. Đây là các vật liệu nhạy khí có ưu điểm vềkhảnăng điều khiển
được: tính chất dẫn điện và tính chất nhạy khí.
Mục tiêu luận án: (i) Nghiên cứu tính chất nhạy khí của oxit đa kim
loại trên cơsở đất hiếm và kim loại chuyển tiếp 3d(LnMO3). (ii)
Nghiên cứu chếtạo cảm biến độdẫn điện cho khí CO và cảm biến
nhiệt xúc tác cho khí HC dựa trên hệvật liệu (LnFe1-xCoxO3). Nghiên
cứu ứng dụng các cảm biến CO và HC trong các thiết bị đo khí.
26 trang |
Chia sẻ: oanh_nt | Lượt xem: 1781 | Lượt tải: 2
Bạn đang xem trước 20 trang tài liệu Tóm tắt luận án Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí monoxit cacbon và hydrocacbon trên cơ sở oxit perovskite abo3, để xem tài liệu hoàn chỉnh bạn click vào nút DOWNLOAD ở trên
VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ VIỆT NAM
VIỆN KHOA HỌC VẬT LIỆU
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO CẢM BIẾN
KHÍ MONOXIT CACBON VÀ HYDROCACBON
TRÊN CƠ SỞ OXIT PEROVSKITE ABO3
TÓM TẮT LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU
Chuyên ngành: Khoa học Vật liệu
Mã số: 62.44.50.01
Nghiên cứu sinh: Hồ Trường Giang
Người hướng dẫn khoa học: PGS. TS. Nguyễn Ngọc Toàn
GS. TS. Phan Hồng Khôi
Hà Nội, 2012
2
MỞ ĐẦU
Khí CO và HC là các khí độc và khí có khả năng gây cháy
nổ có mặt thường xuyên trong môi trường không khí. Vì vậy, việc
phân tích định tính hay định lượng các loại khí này trong môi trường
không khí là cần thiết và quan trọng. Luận án này tập trung nghiên
cứu, chế tạo hai loại cảm biến khí đó là: cảm biến độ dẫn cho khí CO
và cảm biến nhiệt xúc tác cho khí HC. Hai loại cảm biến này đều trên
cơ sở vật liệu oxit kim loại và có ưu điểm về: nguyên lý đơn giản, dải
đo rộng, độ bền và ổn định cao, thiết kế đơn giản, giá thành rẻ, có
khả năng chế tạo hàng loạt, thời gian thực hiện phép đo nhanh, có thể
thực hiện đo trực tiếp và trực tuyến trong môi trường cần phân tích
khí và dễ ứng dụng cho thiết kế thiết bị đo. Vật liệu Perovskite
LnMO3 (với Ln = La, Nd, Sm, Gd, v.v.; M là kim loại chuyển tiếp
như V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, v.v.) được quan tâm nhiều cho cảm biến
khí. Đây là các vật liệu nhạy khí có ưu điểm về khả năng điều khiển
được: tính chất dẫn điện và tính chất nhạy khí.
Mục tiêu luận án: (i) Nghiên cứu tính chất nhạy khí của oxit đa kim
loại trên cơ sở đất hiếm và kim loại chuyển tiếp 3d (LnMO3). (ii)
Nghiên cứu chế tạo cảm biến độ dẫn điện cho khí CO và cảm biến
nhiệt xúc tác cho khí HC dựa trên hệ vật liệu (LnFe1-xCoxO3). Nghiên
cứu ứng dụng các cảm biến CO và HC trong các thiết bị đo khí.
Phương pháp nghiên cứu: Luận án được tiến hành dựa trên các quá
trình nghiên cứu thực nghiệm cùng với phân tích và hệ thống các kết
quả đã được công bố. Tính chất nhạy khí của LnFe1-xCoxO3 được
nghiên cứu qua các phép đo điện trở của lớp vật liệu nhạy khí dạng
màng dầy. Ở đó, lớp màng nhạy khí LnFe1-xCoxO3 và các điện cực
được chế tạo theo công nghệ in lưới trên đế Al2O3. Dựa trên các phân
3
tích kết quả nhạy khí của hệ vật liệu để tìm ra vật liệu tối ưu cho thiết
kế cảm biến khí CO và HC. Ở đây, các nồng độ khí chuẩn dùng cho
nghiên cứu được tạo ra theo nguyên lý trộn thể tích.
Nội dung:
1. Tổng quan về cảm biến độ dẫn điện và cảm biến nhiệt xúc
tác, bao gồm: nguyên lý, cấu tạo và các tham số ảnh hưởng.
2. Sử dụng các bột oxit đa tinh thể có cấu trúc perovskite là
LaFe1-xCoxO3 (với x = 0,0; 0,1; 0,2; 0,3; 0,4; 0,6; 0,8 và 1,0)
và LnFeO3 (với Ln = La, Nd và Sm) để chế tạo các cảm biến
dạng màng dầy bằng phương pháp in lưới. Ở đó, các bột oxit
này được tổng hợp theo phương pháp sol-gel citrate với kích
thước hạt trong khoảng 30÷50 nm.
3. Nghiên cứu tính chất nhạy khí CO và HC của các cảm biến
độ dẫn điện trên cơ sở lớp nhạy khí là LaFe1-xCoxO3 và
LnFeO3. Từ các kết quả này tìm ra vật liệu tối ưu cho thiết kế
cảm khí CO và HC.
4. Nghiên cứu chế tạo cảm biến độ dẫn điện khí CO và cảm
biến nhiệt xúc tác khí HC cho mục đích ứng dụng trong các
thiết bị đo khí.
5. Ứng dụng các cảm biến đã nghiên cứu chế tạo trong thiết bị
đo khí.
CHƯƠNG I: TỔNG QUAN
1.1. Cảm biến khí
1.1.2. Cảm biến khí CO trên cơ sở độ dẫn điện
1.1.2.1. Nguyên lý và cấu tạo
4
Hình 1.1 là mô hình về
nguyên lý thay đổi độ dẫn
điện. Các hạt oxit kim loại
(bán dẫn loại n) hấp phụ
oxy trên bề mặt. Điện tử
dẫn hạt tải phải vượt hoặc
xuyên hầm qua lớp điện
môi (vùng nghèo) tiếp giáp
giữa hai hạt với hàng rào
năng lượng (qVS) để di
chuyển từ hạt này sang hạt
kia. Độ dẫn điện tổng cộng
(G) của lớp nhạy khí có
dạng công thức sau:
G=G0exp(-qVs/kT). Trong
đó, G0 là một hằng số tùy
thuộc vật liệu nhạy khí, k là
hằng số Boltzman và T là
nhiệt độ tuyệt đối. Ví dụ, khí khử CO tương tác với ion oxy hấp phụ
(O-add ) để tạo thành CO2 và điện tử tự do theo phương trình sau:
CO+O-add=CO2+e-. Quá trình này sẽ bơm điện tử trở lại vùng dẫn và
làm giảm vùng nghèo do đó làm thay đổi độ dẫn điện G của lớp vật
liệu nhạy khí. Hình 1.2 là cấu tạo cơ bản của cảm biến khí độ dẫn
điện gồm: lớp nhạy khí, điện cực, bếp vi nhiệt và đế.
1.1.2.2. Các tham số ảnh hưởng tới tính chất nhạy khí
1.1.2.2.1. Điện cực
Hình 1.3 là các cấu hình điện cực cảm biến độ dẫn điện. L là khoảng
cách giữa hai điện cực và W là độ rộng của điện cực. Vật liệu điện
Hình 1.1: Mô hình về nguyên lý về
thay đổi độ dẫn điện khi các hạt oxit
hấp phụ oxy trên bề mặt.
Hình 1.2: Cấu hình cơ bản cảm biến
khí độ dẫn.
5
cực cần có tính bền
nhiệt và hóa học
(như Pt, Pd, Au và
Ni). Điện cực đóng
vai trò lấy tín hiệu
điện và ảnh hưởng
đến tính chất nhạy
khí của cảm biến.
Lựa chọn điện cực
cảm biến cần có sự
phù hợp về hệ số
dãn nở nhiệt với lớp vật liệu nhạy khí.
1.1.2.2.2. Lớp nhạy khí
a) Độ dầy màng nhạy khí
Các khí có tính oxy hóa mạnh như O3 hoặc NO2 thường hoạt động
trên lớp bề mặt trên của màng nhạy khí. Trong khi đó, khí khử, ví dụ
H2 và CO, có tính thẩm thấu và khuếch tán tốt nên có khả năng tương
tác được với lớp bên trong của màng nhạy khí. Chiều dầy lớp màng
nhạy khí ảnh hưởng độ nhạy,
độ ổn định và thời gian hồi
đáp của cảm biến.
b) Ảnh hưởng kích thước hạt
Kích thước hạt lớn: độ nhạy
ít phụ thuộc vào kích thước
hạt. Kích thước hạt nhỏ: ảnh
hưởng mạnh đến độ nhạy
khí. Kích thước hạt rất nhỏ:
toàn bộ độ dẫn điện là bị điều khiển bởi vùng điện tích không gian,
Hình 1.4: Mô hình các điện trở của
lớp màng nhạy khí.
Hình 1.3: Các dạng cấu trúc điện cực của
cảm biến khí độ dẫn điện.
6
độ nhạy đạt đến giá trị cực đại. Kích thước hạt càng nhỏ thì ảnh
hưởng độ ẩm của cảm biến càng lớn. Thông thường, tính ổn định của
cảm biến tăng khi kích thước hạt tăng.
c) Ảnh hưởng dạng hạt
Mỗi mặt tinh thể liên quan đến tham số về: diện tích bề mặt; mặt độ
trạng thái; ví trí các mức năng lượng; phân tử hấp phụ; năng lượng
hoạt hóa, vv.. Do vậy, tính chất tương tác khí phụ thuộc mạnh vào
hình dáng hạt tinh thể.
d) Ảnh hưởng hình thái bề mặt lớp màng nhạy khí
Lớp màng nhạy khí là tập hợp liên kết của hạt tinh thể. Điện trở lớp
màng nhạy khí khi đó như mô hình chỉ trên hình 1.4 bao gồm: Điện
trở của tiếp xúc giữa các hạt (Rc); Điện trở của tiếp xúc giữa các đám
hạt (Ra-a); Điện trở tổng cộng của đám hạt (Ragl); Điện trở trong từng
nội hạt (Rb). Do vậy, điện trở tổng cộng của cảm biến phụ thuộc vào
hình thái của lớp màng nhạy khí và biến đổi theo thời gian hoạt động
của cảm biến.
e) Chất xúc tác
Vật liệu có hoạt tính xúc tác khí
tốt thì có tính chất nhạy khí tốt.
Tuy nhiên đây không phải là yếu
tố quyết định cho lựa chọn ứng
dụng cảm biến khí.
1.1.2.2.3. Đế
Đế được chọn là các vật liệu điện môi, ví dụ: Al2O3, Si-SiO2, MgO,
ZrO2, v.v.. Đế cần được lựa chọn theo các tiêu chuẩn sau: phù hợp
độ dãn nở nhiệt với lớp vật liệu nhạy khí. Hình 1.5 cho thấy giữa lớp
vật liệu nhạy khí và đế luôn tồn tại một lớp chuyển tiếp có định
Hình 1.5: Lớp chuyển tiếp giữa
lớp vật liệu nhạy khí và đế.
7
hướng tinh thể ngẫu nhiên, ở đó luôn tồn tại một ứng lực làm phá
hỏng liên kết vật liệu nhạy khí và đế.
1.1.3. Cảm biến khí nhiệt xúc tác
1.1.3.1. Nguyên lý và cấu tạo
Nguyên lý: Cảm
biến nhiệt xúc tác
dựa trên nguyên lý
nhiệt lượng sinh ra
của phản ứng xúc
tác giữa oxy hấp phụ
(O-add) trên bề mặt
vật liệu oxit kim loại
và khí cháy: HC +
O-add → H2O + CO2
+ Q. Ở đây, Q là nhiệt lượng sinh ra của phản ứng cháy. Nhiệt lượng
sinh ra tỷ lệ nồng độ khí cháy.
Cấu tạo: Cảm biến loại pellistor gồm hai cuận dây platin. Một cuộn
dây đóng vai trò nhạy khí được phủ vật liệu xúc tác nhạy khí. Cuộn
thứ hai phủ vật liệu trơ
không có hoạt tính xúc
tác khí đóng vài trò bù
lại sự thay đổi nhiệt độ
và độ ẩm. Hình 1.6
minh họa cấu tạo bộ
phận nhạy khí và sơ đồ
mạch điện cầu của cảm
biến nhiệt xúc tác. Cuộn
dây Pt đóng vai trò bếp
Hình 1.6: Cấu trúc của cảm biến nhiệt xúc
tác kiểu pellistor.
Hình 1.7: Đặc tuyến điện áp tín hiệu ra
phụ thuộc vào nồng độ khí cháy của cảm
biến nhiệt xúc tác.
8
vi nhiệt cung cấp nhiệt lượng cho phản ứng xúc tác xảy ra và vai trò
thứ hai của bếp vi nhiệt là ghi nhận sự thay đổi nhiệt lượng. Hình
1.6c sơ đồ mạch cầu Wheatstone lấy tín hiệu đầu ra của cảm biến
nhiệt xúc tác. Ở đó, Vin là nguồn điện thế cung cấp, Vout là điện thế
đầu ra, R là điện trở thuần, phần nhạy khí và phần bù. Đặc trưng điện
áp ra Vout phụ thuộc vào nồng độ khí cháy trong môi trường không
khí được trình bày trên hình 1.7. Vùng nồng độ từ 0 đến LEL là vùng
nồng độ giới hạn cháy nổ mức thấp. UEL là ngưỡng giới hạn cháy nổ
trên. Mỗi loại khí cháy có nồng độ LEL÷UEL riêng, ví dụ của
methane (CH4) là 5÷15%tt, propane (C3H8) là 2÷9%tt và hydro (H2)
là 4÷75%tt. Cảm biến nhiệt xúc tác có thể hoạt động trong môi
trường có nhiệt độ từ -20 đến 70 oC, độ ẩm 5÷95 %RH và áp xuất
70÷130 kPa. Cảm biến nhiệt xúc tác có độ chính xác phép đo <±5%
giá trị đo, thời gian hồi đáp cỡ 10 s và thời gian sống 3÷5 năm.
1.1.3.2. Các tham số ảnh hưởng đến cảm biến khí nhiệt xúc tác
Yếu tố quyết định đến sự hoạt động ổn định là: phần bù và phần
nhạy khí càng giống nhau càng tốt. Vật liệu xúc tác được lựa chọn có
tính chất ổn định: độ thuận nghịch của phản ứng xúc tác, ảnh hưởng
của sự nhiễm độc của oxit kim loại đối một số khí (SO2, NOx, HCl,
v.v.). Cấu hình và kích thước của bếp vi nhiệt ảnh hưởng đến độ
nhạy và độ bền của cảm biến.
1.2. Vật liệu nhạy khí oxit kim loại
1.2.1. Tính chất nhạy khí của vật liệu bán dẫn
Vật liệu nhạy khí gồm: bán dẫn cộng hóa trị (Si, Ge, và GaAs); và
bán dẫn liên kết ion (ZnO, SiO2, SnO2, CdS, và ZnS). Vật liệu bán
dẫn oxit kim loại được ứng dụng nhiều cho cảm biến khí do thể hiện
ưu điểm: bền nhiệt; bền hóa học; đa dạng về độ dẫn điện; dễ chế tạo
9
để có được kích thước hạt nhỏ và có các dạng hạt khác nhau; giá
thành rẻ.
1.2.2. Tính chất nhạy khí phụ thuộc vào cấu hình điện tử
Tính chất nhạy khí của vật liệu phụ thuộc nguyên tố kim loại trong
hợp chất oxit. Vật liệu oxit kim loại theo cấu hình điện tử ion kim
loại dn (với 0≤n≤10) được quan tâm nghiên cứu trong lĩnh vực vật
liệu nhạy khí. Với dn (với 0<n<10), ví dụ như các oxit Fe2O3, Co3O4,
NiO, Cr2O3, v.v.. có tính chất nhạy khí đa dạng và phức tạp, đây là
vật liệu tiềm năng cho cảm biến khí. Nhược điểm lớn của oxit kim
loại với cấu hình dn (với 0<n<10) là có nhiều mức năng lượng khác
nhau, dễ có sai hỏng dẫn đến tính ổn định kém. Oxit kim loại d0, ví
dụ như Al2O3, và oxit kim loại sau chuyển tiếp d10, ví dụ như ZnO và
SnO2, thường ưu tiên có một trạng thái oxy hóa và có độ ổn định cao.
Do đó, các vật liệu được ứng dụng nhiều cho cảm biến khí.
1.2.3. Tính chất nhạy khí theo tính chất dẫn điện
Độ rộng vùng cấm nhỏ phù hợp cho ứng dụng cảm biến nhiệt độ
thấp và ngược lại độ rộng vùng cấm lớn phù hợp cho ứng dụng cảm
biến hoạt động ở nhiệt độ cao.
1.2.4. Tổng quan về vật liệu nhạy khí có cấu trúc kiểu perovskite
1.2.4.2. Cấu trúc tinh thể
Hình 1.8 minh họa cấu trúc tinh
thể: Cation B chiếm vị trí tại tâm
của bát diện bao quanh bởi anion
oxy hay là tâm của khối lập
phương. Cation A chiếm tại vị trí
các đỉnh của hình lập phương.
Anion oxy chiếm vị trí tâm các
mặt của hình lập phương. Khi
Hình 1.8: Cấu trúc tinh thể
của perovskite ABO3.
10
thay thế các nguyên tố A và B có bán kính cation thay đổi thì cấu trúc
mạng tinh thể lập phương bị méo theo các dạng: trực thoi, mặt thoi,
tứ giác, đơn tà và tam tà. Bằng cách kết hợp nhiều kim loại để tạo ra
các vật liệu oxit đa kim loại với nhiều tính chất quý báu khác nhau.
1.2.4.3. Tính chất dẫn điện:
Cấu trúc điện tử của hệ vật liệu perovskite đất hiếm kim loại chuyển
tiếp (LnMO3) phụ thuộc chính vào tương tác ion kim loại chuyển tiếp
3d (M) và ion O2-. Độ dẫn điện được điều khiển: một là, lựa chọn
kim loại chuyển tiếp 3d (M) khác nhau để thay đổi cấu hình điện tử
dn (n thay đổi) của ion kim loại; hai là, pha tạp (ví dụ, thay thế một
phần kim loại hóa trị 2 vào ví trí Ln hoặc M) dẫn đến thay đổi hóa trị
ion kim loại chuyển tiếp 3d tức là thay đổi cấu hình điện tử 3d hoặc
làm tăng thêm nồng độ hạt tải.
1.2.4.4. Tính chất hấp thụ khí
Vật liệu perovskite thể hiện tính hấp thụ khí trên bề mặt, ví dụ như
một số khí CO, NOx và O2. Tính chất hấp thụ khí O2 của vật liệu oxit
perovskite là quan trọng vì liên quan đến tính chất xúc tác và tính
chất nhạy khí. Vật liệu LaMO3 (M = Cr, Mn, Fe, Co, Ni) có tính chất
hấp thụ khí oxy cực đại với vật liệu có Mn và Co. LaFeO3 có tính
hấp thụ thuận nghịch tốt hơn so với các hợp chất của kim loại chuyển
tiếp 3d khác. Hệ LnFeO3 (Ln = La, Nd, Sm, Gd và Dy) nhận thấy
rằng oxy hấp thụ có xu hướng tăng theo số hiệu nguyên tử đất hiếm
và có giá trị cực đại ở mẫu SmFeO3.
1.2.4.5. Tính ổn định
Hệ vật liệu LaMO3 (M = V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni) trong môi trường khí
khử ở vùng nhiệt độ cao nhận thấy rằng tính ổn của hệ vật liệu này
tuân theo trật tự LaNiO3<LaCoO3<LaMnO3<LaFeO3<LaCrO3≈
11
Hình 2.1: Cấu trúc điện cực và lớp màng nhạy khí
của cảm biến.
LaVO3. Trong khi đó hệ LnFeO3 độ ổn định giảm theo sự giảm bán
ion đất hiếm Ln.
1.2.4.7. Tính chất xúc tác
Trong hệ vật liệu đất hiếm-kim loại chuyển tiếp 3d, LnMO3, tính oxy
hóa khử ít phụ thuộc vào nguyên tố đất hiếm (Ln) mà phụ thuộc
chính vào kim loại chuyển tiếp 3d (M). Hệ LaMO3 (M = Cr, Mn, Fe,
Co, Ni) tính chất xúc tác khí thể hiện đa dạng và phức tạp. Mức độ
mạnh yếu của hoạt tính xúc tác khí tuân theo quy luật là phụ thuộc
vào mức độ linh hoạt trong việc chuyển các trạng thái hóa trị của ion
kim loại 3d.
1.2.4.8. Cảm biến khí
Cảm biến khí trên cơ sở vật liệu oxit perovskite tập trung vào một số
loại sau: cảm biến dạng điện hóa; cảm biến dạng độ dẫn và cảm biến
dạng nhiệt xúc tác. Cảm biến bán dẫn sử dụng các vật liệu perovskite
như: cảm biến hơi cồn, cảm biến CO, NOx, v.v. Có rất nhiều vật liệu
perovskite có tính nhạy khí tốt nhưng chỉ ít trong số chúng được lựa
chọn để thiết kế cảm biến. Hệ LnMO3 (Ln là kim loại đất hiếm như
La, Nd, Sm, Gd, v.v.; M là kim loại 3d như V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni)
thì LnFeO3 được quan tâm nghiên cứu nhiều nhất.
CHƯƠNG II: THỰC NGHIỆM
2.1. Vật liệu
nhạy khí
Các bột oxit
nano (kích
thước hạt trong
khoảng 30÷50
nm) có cấu trúc
kiểu
12
Hình 2.3: Sơ đồ nguyên lý hệ trộn khí.
perovskite: LaFe1-xCoxO3 (với x = 0,0; 0,1; 0,2; 0,3; 0,4; 0,6; 0,8 và
1,0) và LnFeO3 (với Ln = La, Nd và Sm) được sử dụng cho các
nghiên cứu về tính chất nhạy khí, chế tạo cảm biến ứng dụng trong
thiết bị đo khí CO và HC.
2.2. Chế tạo cảm biến khí kiểu độ dẫn điện
Lớp màng nhạy khí, điện cực và
bếp vi nhiệt được chế tạo ở dạng
màng dầy bằng phương pháp in
lưới. Các bột nano LaFe1-xCoxO3
và LnFeO3 trộn với dung môi
hưu cơ để tạo các hồ (keo) dùng
cho tạo màng nhạy khí trên đế.
Điện cực sử dụng là
Pt và đế là Al2O3. Cấu
trúc cảm biến được
chế tạo theo cấu hình
trên hình 2.1. Ở đó,
điện cực Pt được phủ
mặt trên và mặt dưới
của lớp màng nhạy
khí. Bếp vi nhiệt Pt
được in trên mặt còn lại của đế Al2O3. Các cảm biến sau khi chế tạo
được ủ trong môi trường không khí tại nhiệt độ 300 oC trong thời
gian 200 giờ. Hình 2.2 ảnh chụp điện cực Pt và bếp vi nhiệt Pt trên
đế Al2O3.
Nhiệt độ hoạt động của cảm biến được xác định qua cảm biến nhiệt
độ Pt100. Các cảm biến được đặt đồng thời trong buồng đo hình trụ
có thể tích 1 lít và lưu lượng là 500 mL/phút.
Hình 2.2: Ảnh chụp điện cực dưới
Pt (a) và bếp vi nhiệt (b) trên đế
mặt trên đế Al2O3
13
2.3. Xây dựng hệ phân
tích tính chất nhạy khí
Hệ phân tích tính chất nhạy
khí được thiết kế theo
nguyên lý trộn thể tích. Cơ
sở vật chất của hệ thống
này gồm có: Nguồn khí
chuẩn (CO, CO2, C3H8,
C4H10, C6H14, H2, NO2,
v.v.). Các bộ vi điều khiển
lưu lượng lập trình được.
Ống dẫn khí, van đóng mở
và van hạ áp. Nguồn thế một chiều lập trình được; nguồn dòng lập
trình được; bộ thu số liệu; máy đo độ ẩm; và máy tính PC. Hình 2.3
là sơ đồ nguyên lý của hệ trôn khí dùng cho phân tính chất nhạy khí
của cảm biến.
2.4. Phương pháp đo điện trở của lớp màng nhạy khí
2.4.1. Kỹ thuật đo điện trở dựa trên nguồn dòng
Sơ đồ nguyên lý mạch điện đo điện trở của cảm biến được chỉ trên
hình 2.4 (trên), ở đó Rsensor điện trở của lớp màng nhạy khí cần đo,
nguồn dòng không đổi I, và điện thế đo được U. Điện trở của lớp
màng nhạy khí Rsensor được xác định qua công thức sau: Rsensor= U/I.
2.4.2. Kỹ thuật đo điện trở dựa trên nguồn thế
Hình 2.4 (dưới) là mạch điện đo điện trở của lớp màng nhạy khí dựa
trên nguồn thế. Khi đó, điện trở của lớp màng nhạy khí Rsensor được
tính theo công thức: Rsensor=R/(U1/U2-1).
2.5. Tham số độ nhạy
Độ nhạy (S) của cảm biến được xác định qua điện trở của lớp màng
nhạy khí được tính theo công thức sau: S = (RG-RA)/RA×100. Ở đó, RG
Hình 2.4: Mạch điện đo điện trở dựa
trên nguồn dòng (trên) và nguồn thế
(dưới).
14
Hình 3.1: Điện trở của cảm biến LaFe1-xCoxO3 và LnFeO3 tại các
nhiệt độ trong môi trường không khí.
Hình 3.2: Độ nhạy của cảm biến LaFe1-xCoxO3 và LnFeO3 tại các
nhiệt trong 200 ppm CO.
là điện trở lớp màng nhạy khí trong môi trường có khí tác nhân và RA
là điện trở của lớp màng nhạy khí trong môi trường không khí.
CHƯƠNG III: KHẢO SÁT TÍNH CHẤT NHẠY KHÍ CỦA
OXIT PROVSKITE ĐẤT HIẾM KIM LOẠI CHUYỂN TIẾP 3d
3.1. Điện trở phụ thuộc vào nhiệt độ trong môi trường không khí
Hình 3.1 là điện trở của các cảm biến LaFe1-xCoxO3 và LnFeO3 tại
các nhiệt độ trong môi trường không khí. Điện trở của các cảm biến
giảm mạnh theo nhiệt độ. Điện trở của LaFe1-xCoxO3 giảm mạnh khi
tăng nồng độ Co. Đặc trưng điện trở của các cảm biến LnFeO3 là khá
15
Hình 3.3: Độ nhạy của cảm biến LaFe1-xCoxO3 và LnFeO3 phụ thuộc
ồ o
Hình 3.4: Thời gian hồi đáp T90 của cảm biến LaFe1-xCoxO3 và
LnFeO3 tại các nhiệt trong 200 ppm CO.
giống nhau. Điện trở oxit perovskite phụ thuộc vào sự khuyết thiếu
của ion đất hiếm. Ngoài ra, chúng còn phụ thuộc vào kim loại
chuyển tiếp 3d. Trong hệ LaFe1-xCoxO3, Co3+ có thể chuyển thành
Co2+ (làm tăng lỗ trống) do đó điện trở của hệ vật liệu này giảm
mạnh khi nồng độ Co.
3.2. Tính chất nhạy khí CO và HC
a) Tính chất nhạy khí CO
16
Hình 3.5: Độ nhạy của cảm biến LaFe1-
xCoxO3 và LnFeO3 tại các nhiệt trong 200
ppm một số khí HC.
Hình 3.2 là các đường độ nhạy (S) phụ thuộc vào nhiệt độ hoạt động
tại 200ppm CO của các cảm biến LaFe1-xCoxO3 và LnFeO3. Vùng
nhiệt độ hoạt động của cảm biến LaFe1-xCoxO3 và LnFeO3 đối với khí
CO trong khoảng từ 100÷300oC. Độ nhạy của cảm biến LaFe1-
xCoxO3 đối với khí CO tăng mạnh khi Fe được thay thế bởi một phần
nhỏ Co. Độ nhạy LaFe1-xCoxO3 giảm mạnh khi nồng độ pha tạp Co
lớn. Vùng nhiệt độ mà cảm biến LaFe1-xCoxO3 thể hiện độ nhạy tối
ưu có xu hướng dịch dần về phía nhiệt độ thấp khi nồng độ Co tăng.
Cảm biến LnFeO3 thể
hiện tính chất nhạy khí
CO gần như nhau với
các nguyên tố đất hiếm
khác nhau. Hình 3.3 là
các đường độ nhạy biến
thiên theo các nồng độ
khí CO (100, 200, 300,
400 ppm) của cảm biến
LaFe1-xCoxO3 và LnFeO3
tại nhiệt độ 180 oC. Đặc
trưng này thể hiện của
vật liệu loại p. Hình 3.4
là tổng hợp các thời gian
đáp ứng T90 của cảm
biến LaFe1-xCoxO3 và
LnFeO3 theo các nhiệt độ khác nhau tại 200 ppm khí CO. Trong hệ
vật liệu này, T90 của LaFeO3 lớn nhất và giảm mạnh khi Fe được thay
thế một phần bằng Co. Cảm biến LnFeO3, T90 giảm theo bán kính ion
đất hiếm.
17
Hình 3.6: Độ nạy của cảm biến
LaFe0,9Co0,1O3 và LnFeO3 tại các nhiệt
trong 200 ppm các khí CO, CH4, C3H8 và
C6H14.
b) Tính chất nhạy khí
HC: Hình 3.5 là các
đường độ nhạy (S) của
cảm biến LaFe1-xCoxO3
và LnFeO3 phụ thuộc
vào nhiệt độ hoạt động
tại 200 ppm các kh