Giáo trình Công nghệ vi điện tử

Các mạch tích hợp (IC) làcác mạch điện tửđược chếtạo bởi việc tạo ra một cách đồng thời các phần tửriêng lẻnhư transistor, diodes . trên cùng một chip bán dẫn nhỏ(điển hình làSi), các phần tử được nối với nhau nhờcác vật liệu kim loại được phủtrên bềmặt của chip. Các vật liệu kim loại đóng vai trònhư các “ wireless wires”. Ýtưởng này lần đầu tiên được đưa ra bởi Dummer năm 1952. Các mạch tích hợp đầu tiên được phát minh bởi Kilby, 1958. Các mạch tích hợp vềcơ bản được chia thành 2 loại chính: analog (hay linear) vàdigital (hay logic). Các mạch tích hợp tương tựhoặc khuếch đại hoặc đáp ứng các điện áp biến đổi. Tiêu biểu làcác mạch khuếch đại, timers, dao động vàcác mạch điều khiển điện áp (voltage regulators). Các mạch sốtạo ra hoặc đáp ứng các tín hiệu chỉ cóhai mức điện áp. Tiêu biểu làcác bộvi xửlý, các bộnhớ, vàcác microcomputer. Các mạch tích hợp cũng cóthểđược phân loại theo công nghệchếtạo: monolithic hoặc hybrid. Trong khôn khổgiáo trình này chúng ta chỉ ngiên cứu loại thứnhất. Quy mô của sựtích hợp của các mạch tích hợp trên sơ sởSilicon đãtăng lên rất nhanh chóng từ thếhệđầu tiên được chếtạo bởi Texas Instruments năm 1960 với tên gọi SSI (Small Scale Integration) đến thếhệmới ULSI. Hiện nay công nghệCMOS với minimum device dimension ( khoảng cách gate to gate) d?t t?icỡvài chục nm (0.65, 0.45).